Logo
Logo

Кремниевый фотоумножитель

Введение

С развитием современных технологий (в т.ч. беспилотных автомобилей) становятся востребованы LiDAR (англ. Light Detection and Ranging) — приборы для измерения расстояния до объектов в режиме реального времени. Прибор посылает лазерные импульсы к объекту и измеряет время, через которое рассеянный сигнал будет принят фотодетектором. Одним из перспективных видов таких фотодетекторов, способных быстро детектировать короткие импульсы ($<1~\text{нс}$) в широком динамическом диапазоне, являются ТФУ (твердотельные фотоумножители).

ТФУ образован матрицей параллельно соединенных ячеек. Каждая ячейка приближённо представляет из себя $p\text{-}n$ переход на кремнии и нанесенный на него диэлектрический слой с утечкой (слой гашения). Кремний является полупроводником, и при нормальных условиях электроны в нем почти не проводят электрический ток. Однако, при попадании света на ячейку, электрон в полупроводнике может стать проводящим. Разгоняясь в достаточно сильном электрическом поле, этот электрон «выбивает» другие электроны в проводящее состояние, новые электроны также разгоняются, и так далее — этот процесс называется лавинной ударной ионизацией. На границе слоя гашения при этом накапливается заряд, который экранирует поле в области умножения, и лавина затухает.

Изготовление опытного образца ТФУ — сложный и дорогостоящий технологический процесс, а непосредственное численное моделирование электрофизики многоячеистого прибора затруднено из-за ограничений по вычислительной мощности, поэтому полезно заранее оценивать характеристики сконструированного прибора. Для упрощения расчетов разработана модель эквивалентной электрической схемы ТФУ, состоящая из линейных компонентов (резисторы, емкости, индуктивности) — приближенно описывающая компоненты реального детектора.

Рассмотрим эквивалентную электрическую схему ТФУ, подключенную к источнику питания и измерительному устройству.

Рис.1: Эквивалентная схема ТФУ в составе схемы считывания

Опишем компоненты эквивалентной схемы и допускаемые приближения:

  •  В левой части схемы расположена матрица ТФУ, состоящая из $N=5\cdot{10^4}$ параллельно соединенных ячеек и паразитной (межъячеечной) емкости $C_0$. Каждая ячейка  упрощенно представляет из себя последовательное соединение $p\text{-}n$ перехода и слоя гашения.
  • $p\text{-}n$ переход в диапазоне прикладываемых к нему напряжений в обратном смещении $\bigl[V_{br}{,}V_{op}\bigr]$ можно аппроксимировать постоянной емкостью $C_2$.
  • Лавинный процесс приводит к тому, что напряжение на $p\text{-}n$ переходе мгновенно падает до напряжения пробоя $V_{br}$. Время этого процесса много меньше характерных времен всех остальных процессов в цепи.  С точки зрения нашей цепи лавинный процесс  при попадании света на ячейку с номером $i$ представляет собой кратковременное замыкание ключа $K_i$ и мгновенное падение напряжения на $p\text{-}n$ переходе до $V_{br}=63~\text{В}$. Все остальное время ключи $K_i$ разомкнуты. 
  • Слой гашения обладает постоянной емкостью $C_1$ и сопротивлением утечки $R=100~\text{МОм}$.
  • Паразитная индуктивность ножек детектора и соединительных элементов – $L=1~\text{нГн}$. 
  • ТФУ последовательно соединен с источником постоянного рабочего напряжения $V_{op}=65~\text{В}$. 
  • Измерительное устройство эквивалентно нагрузке сопротивлением $r=50~\text{Ом}$ и идеальному вольтметру (осциллографу). 

Для удобства вычислений введем дополнительные обозначения: 

  • $C_{cell}=\cfrac{C_1C_2}{C_1+C_2}$ — емкость одной ячейки 
  • $C_{det}=NC_{cell}+C_0=20~\text{пФ}$ — емкость детектора 
  • $k=C_1/C_2=5$ — отношение емкостей слоя гашения и $p-n$ перехода 
  • $p=C_0/C_{det}=0{.}1$ — отношение паразитной емкости к емкости детектора 
  • $V_{ov}=V_{op}-V_{br}=2~\text{В}$ — величина перенапряжения на приборе.

Часть A. Лавинный процесс (2.5 балла)

Пусть схема находится в установившемся режиме, то есть на нее в течении очень большого времени не попадало световых импульсов и ключи $K$ были разомкнутыми.

A1  0.40

Для установившегося режима найдите:

  • напряжение $V_r$ на нагрузке $r$;
  • напряжение $V_0$ на каждой ячейке и паразитной емкости $C_0$;
  • напряжения $V_1$ на слоях гашения каждой ячейки.

В условиях установившегося режима свет попадает одновременно на $n$ ячеек. Рассмотрим состояние схемы через настолько малое время после попадания света, что зарядом, протекшим через индуктивность можно пренебречь. Также можно пренебречь и протеканием заряда через сопротивления утечки $R$. Пусть $\Delta{V}$ — изменение напряжения на конденсаторе $C_0$ и на ячейках по завершении лавинного процесса. Полярность изменения напряжения примите той же, что и полярность напряжения в установившемся режиме.

A2  0.80

Найдите: 

  • изменение заряда $\Delta{q}_0$ конденсатора $C_0$. Ответ выразите через $C_0$ и $\Delta{V}$;
  • изменения зарядов $\Delta{q}_{1a}$ и $\Delta{q}_{2a}$ конденсаторов $C_1$ и $C_2$ соответственно каждой из активных ячеек. Ответы выразите через $C_1$, $C_2$, $V_{ov}$ и $\Delta{V}$;
  • изменения зарядов $\Delta{q}_{1p}$ и $\Delta{q}_{2p}$ конденсаторов $C_1$ и $C_2$ соответственно каждой из пассивных ячеек. Ответы выразите через $C_{cell}$ и $\Delta{V}$.

A3  0.70 Найдите изменение напряжения $\Delta{V}$ на ячейках и конденсаторе $C_0$ по завершении лавинного процесса . Ответ выразите в общем виде через $V_{ov}$, $n$, $N$, $C_1$, $C_2$, $C_0$.

Из-за тепловых флуктуаций на нагрузке может возникать шумовой сигнал, амплитуду которого можно оценить по формуле $V_{noise}=\sqrt{4k_BTrf}$, где $k_B=1{.}38\cdot{10^{-23}}~\text{Дж}/\text{К}$ — постоянная Больцмана, $T$ — температура нагрузки (в Кельвинах), $r$ — сопротивление нагрузки, $f$ — частотная полоса пропускания измерительного прибора (осциллографа).

A4  0.60 Оцените амплитуду теплового шума на нагрузке $r=50~\text{Ом}$ при комнатной температуре, если полоса пропускания осциллографа составляет $1~\text{ГГц}=10^9~\text{Гц}$. Используя данные из условия задачи и полученную вами формулу из A3 найдите численное значение $\Delta{V}$ при попадании света на одну ячейку.  Cделайте вывод о том, можно ли различить сигнал от одной ячейки на фоне теплового шума сопротивления нагрузки.

Часть B. Коэффициент умножения (0.8 балла)

Одной из важных характеристик ТФУ является коэффициент умножения $M$: $$M=\cfrac{Q}{e} ,$$ где $Q$ — заряд, протекший через нагрузку $r$ после попадания света на одну из ячеек за очень большое время, за которое цепь успевает полностью вернуться в установившийся режим. Изначально цепь также находилась в условиях установившегося режима. Здесь $e=1{.}6\cdot{10^{-19}}~\text{Кл}$ — элементарный заряд.

B1  0.80 Найдите коэффициент умножения $M$ для ТФУ с параметрами из условия задачи. Выразите ответ через $N$, $C_1$, $C_2$, $C_0$, $e$, $V_{ov}$ и приведите численное значение.

Часть C. Импульс фотосвета (1.2 балла)

C1  0.40 Рассмотрим импульс, регистрируемый осциллографом после попадания света на одну ячейку. Будем считать, что длительность импульса достаточно мала, чтобы пренебречь током, протекающим через сопротивление утечки $R$, но достаточно большое, чтобы лавинный процесс завершился, и все ключи $K_i$ разомкнуты. В этом приближении можно заменить цепь на эквивалентную последовательную $RLC$ цепь. Укажите ее параметры.

C2  0.30 Оцените добротность полученной $RLC$ цепи. Возникнут ли в этой цепи колебания?

C3  0.30 Качественно изобразите график зависимости напряжения на нагрузке от времени после попадания света на одну из ячеек. Первоначально схема находилась в установившемся режиме. Характерные значения указывать не обязательно.

C4  0.20 Сравните максимальное по модулю значение напряжения на нагрузке $|V_{max}|$ после попадания света на одну из ячеек и найденную ранее величину $|\Delta{V}|$ . Какая из этих величин больше? Обведите в листе ответов правильное соотношение.

Часть D. Восстановление ячеек (1.5 балла)

D1  1.00 Найдите приближенную зависимость напряжения на слое гашения ячейки от времени после попадания света на нее (в первоначальных условиях установившегося режима). Воспользуйтесь тем, что в условиях данной задачи $\Delta{V}\ll{V_{ov}}$, $R\gg{r}$. Считайте, что прошло достаточно много времени, и напряжение на внешней нагрузке практически равно нулю. Выразите ответ через $V_{ov}$, $R$, $C_1$, $C_2$, $t$.

D2  0.50 Найдите  изменение напряжения $\Delta{V}$ на  конденсаторе $C_0$ при попадании света на одну ($n=1$) из невосстановленных ячеек, напряжение на слое гашения которой равнялось $V_1<V_{ov}$. Считайте, что до попадания света на эту ячейку напряжение на всех ячейках и паразитной емкости соответствовало установившемуся режиму.  Выразите $\Delta{V}$ через $V_{ov}$, $V_1$, $N$, $C_1$, $C_2$, $C_0$.

Часть E. Шум фотодетектора (2.0 балла)

Основная причина, затрудняющая достоверную регистрацию полезного сигнала в системах активного лазерного сканирования - это шумовой сигнал от фоновой засветки (рассеянный от объекта солнечный свет, свет фар встречных автомобилей и т. д.). В этом разделе задачи проанализируем характеристики сигнала под воздействием равномерной фоновой засветки детектора.

Пусть фоновая засветка имеет такую интенсивность, что вероятность срабатывания каждой ячейки за время $dt$ равна $dt/ T$ и не зависит от времени до предыдущего срабатывания. $T$ — характерный промежуток времени между срабатываниями ячейки. Примем за 1 амплитуду импульса фотоответа (то есть максимальное значение сигнала на осциллографе) при попадании света на полностью восстановленную ячейку. Если ячейка восстановилась не полностью, амплитуда импульса фотоответа зависит от времени $t$, прошедшего с момента предыдущего срабатывания ячейки, как ($\tau$ — характерное время восстановления ячейки)
$$ V=1-e^{-t/\tau}.$$

E1  0.30 Пусть $p(t)$ — вероятность того, что в течение времени $t$ ячейка не сработала ни разу. Найдите $p(t + dt)$, выразите ответ через $p(t)$, $dt$, $T$. Считайте, что $dt \ll T$.

E2  0.20 Найдите вероятность того, ячейка не сработает ни разу в течение времени $t$. Ответ выразите через $t$, $T$.

E3  0.20 Пусть ячейка сработала в момент времени $t = 0$. Найдите вероятность того, что в следующий раз она сработает в интервал времен от $t$ до $t + dt$.

E4  0.40 Найдите среднюю амплитуду импульсов фотоответа $\mu$. Считайте, что разные ячейки создают импульсы независимо друг от друга.

E5  0.60 Найдите среднеквадратичное отклонение амплитуды импульсов фотоответа $\sigma$. Ответ выразите через $\tau$ , $T$.

Указание: среднеквадратичное отклонение можно вычислить по формуле $\sigma=\sqrt{\mu(V^2)-\mu^2(V)}$, где $\mu(V^2)$ — среднее значение квадрата амплитуды, $\mu^2(V)$ — квадрат среднего значения амплитуды.

Введём понятие соотношения сигнал-шум ($SNR$, англ. signal-to-noise ratio), как отношение средней величины сигнала к его среднеквадричному отклонению:
$$SNR=\cfrac{\mu}{\sigma}
$$
По величине $SNR$ можно косвенно судить о динамическом диапазоне и чувствительности детектора: чем больше $SNR$, тем лучше эти характеристики.

E6  0.30

Найдите $SNR$ амплитуд импульсов фотоответа под воздействием равномерной фоновой засветки в случаях:

  • $\tau=0$;
  • $\tau\gg{T}$;
  • $\tau=T$.